1.超聲波發(fā)生器。超聲波發(fā)生器又稱超聲頻率發(fā)生器、超聲振動發(fā)生器或超聲波電源，其作用是將50Hz的交流電轉變?yōu)橛幸欢üβ瘦敵龅某曨l振蕩，提供給超聲振動系統(tǒng)使工具作往復振動的能量。目前使用的超聲波發(fā)生器

　　頻率為16-25kHz。功率在20-4000W范圍內，功率在1000W以上的超聲波發(fā)生器多用電子管式，而小功率者多用晶體管實現(xiàn)。近來由于電子技術的進步，大功率的電子管超聲波發(fā)生器已逐漸被晶體管所取代。

　　2.超聲波振動系統(tǒng)。超聲波振動珩磨裝置的振動系統(tǒng)主要由換能器、變幅桿、彎曲振動曲盤、撓性桿-油石座振動子系統(tǒng)組成。振動珩磨效果的好壞主要取決于振動系統(tǒng)之否將有超聲波發(fā)生器輸出的振動有效地通過各個環(huán)節(jié)傳遞到油石座上(并且在傳遞過程中具有最小的能量損失)。并使油石座在珩磨時產生脈沖切削力激發(fā)微細溝槽自成作用的活躍程度。因此，各個傳振環(huán)節(jié)的設計成了設計超聲振動珩磨工具的關鍵。