1.超聲波發生器。超聲波發生器又稱超聲頻率發生器、超聲振動發生器或超聲波電源，其作用是將50Hz的交流電轉變為有一定功率輸出的超聲頻振蕩，提供給超聲振動系統使工具作往復振動的能量。目前使用的超聲波發生器

　　頻率為16-25kHz。功率在20-4000W范圍內，功率在1000W以上的超聲波發生器多用電子管式，而小功率者多用晶體管實現。近來由于電子技術的進步，大功率的電子管超聲波發生器已逐漸被晶體管所取代。

　　2.超聲波振動系統。超聲波振動珩磨裝置的振動系統主要由換能器、變幅桿、彎曲振動曲盤、撓性桿-油石座振動子系統組成。振動珩磨效果的好壞主要取決于振動系統之否將有超聲波發生器輸出的振動有效地通過各個環節傳遞到油石座上(并且在傳遞過程中具有最小的能量損失)。并使油石座在珩磨時產生脈沖切削力激發微細溝槽自成作用的活躍程度。因此，各個傳振環節的設計成了設計超聲振動珩磨工具的關鍵。